反映腔模组
反映腔模组是半导体装备的焦点部门，其性能直接影响到半导体装备稳固性和性能体现。
公司的反映腔模组整体性能要求均通过国际主流客户认证，主要应用PVD、CVD、ALD、ETCH、RTP等半导体装备。
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产物特点
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产物参数
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相关方案
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质量治理
产物特点
高密封性
高密封衴uanＶち俗氨刚婵涨樾蔚氖迪趾捅３，为晶圆制程反映提供稳固的支持
高清洁度
高清洁的装备零部件是晶圆工艺制程获得良品率的基础
制程装备的清洁度直接决议了在制晶圆及后续芯片的良品率，甚至决议了整条生产线是否有及格品产出
高耐侵蚀
高耐侵蚀的装备零部件是芯片晌蚀制程装备的功效需求
零件的耐侵蚀性能决议了装备的功效性、可靠性、和装备在线停机维护的频ci崎岖
产物参数
| 组成 | 工艺零部件、结构零部件、管路器件、尺度件 |
| 漏率 | 1*10-9torr*l/s |
| 清洁度 | 关jian部件LPC液态粒子检测、ICPMS金属元素检测、荧光检测 |
相关方案
质量治理
腾博手机质量治理承袭"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、历程全生命周期质量治理关注各环节中入口质量、历程质量、出口质量,襶uanＶふ逯柿靠煽,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产物更具竞争力。
