IGS尺度通气基座
IGS尺度通气基座接纳？榛杓，具备切合SEMI尺度的可靠的密封与耐侵蚀能力。用户凭证差异的气体设置需求，可构建紧凑的并利便安装维护的气体传输系统结构。
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产物特点
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质量治理
产物特点
事情条件
可耐事情压力 7500PSI；事情温度 -10 ～200℃
氦测外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3/sec
手艺特征
纯度 SEMI F20 UHP质料，316L （ VIM+VAR ）或316L （VAR）
产物流道经由EP、钝化工艺处置赏罚，内外貌粗拙度Ra＜0.1μm，流道内外貌铬铁比切合SEMI F19尺度，知足超高纯气体传输系统要求
质量治理
腾博手机质量治理承袭"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、历程全生命周期质量治理关注各环节中入口质量、历程质量、出口质量,襶uanＶふ逯柿靠煽,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产物更具竞争力。
