应用自主设计刀具通过钻、铣、铰等细密加工手艺，使流道、功效面&密封面实现高面粗度、高硬度的性能要求。

应用不锈钢镜面抛光手艺，在机械加工的基础上进一步提高流道面粗度，实现高质量、高效率的重大工位镜面抛光。

产物流道内外貌粗拙度知足SEMI尺度的同时可达主流国际客户的更高尺度，实现气体流通最小湍流、紊流，知足气体传输的快速反映与耐侵蚀要求。