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内衬部件制造解决方案提供

内衬部件制造解决方案提供

我司凭jie细密加工手艺、?严酷的质量控制以及周全的性能测试等优势,可制造半导体装备的内衬部件,所生产产物以高细密、高清洁、高密封性、超强耐侵蚀能力、耐击穿电压等特点获得海内外主流客户的认可。

内类型:liner、screen、door、cathod等

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解决结构设计及加工制造问题

解决结构设计及加工制造问题

依据客户要求,为客户提供成本最优的结构设计以及匹配的工艺流程、装备选择、和制程历程等

解决产物涂层问题

解决产物涂层问题

我司自主研发涂层手艺,能知足内衬的耐侵蚀性和致密性、高清洁度、耐击穿电压等性能远超主流客户要求

解决产物清洁度问题

解决产物清洁度问题

我司拥有百级及千级无尘室以及种种细密洗濯工艺,可用于生产高清洁产物,同时拥有微量元素及颗粒检测能力。

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